Zeiss Xenos 三坐标 Zeiss 蔡司 Xenos

ZEISS XENOS 测量规格

ZEISS XENOS 测量范围与探头配置

XENOS 可在各类要求高测量精度的领域使用 —— 从科研机构的测量实验室、航空和航天工业直至光学工业。这一高端测量机的测量精度达到技术极限，其测量范围近 1 立方米。

创新的机械设计

XENOS 采用了全新的机械设计理念。与标准桥式测量机不同：Y 导轨分布于侧壁顶部，分离式移动行程轴仅局限于 Y 轴方向移动，更小且恒定的移动重量 —— 与移动式平台相比却称真正的优势，更低恒定的移动重量造就了加速及最高速度的完美统一。

所有轴均采用线性驱动

XENOS 的所有轴均采用线性驱动。其优点：高速、加速块快、定位精度高、驱动无剪切力影响。结合超高分辨率光栅尺技术，XENOS 的线性驱动可获得高度稳定性及低于 100 纳米的极高定位精度。例如，测针偏移量越稳定，即可获得更佳的测量精度。

虚拟中央驱动

XENOS 于 Y 轴向配置双线性驱动系统，得益于蔡司最新的中央驱动技术可实现的同步控制。该技术可驱 X 轴位置完美分布驱动力。作为最新控制系统及算法之完美结合，这是在整个测量范围内获得测量精度及运动稳定性的关键因素。

碳化硅陶瓷

XENOS 在与精度密切相关的机器部件上采用创新的碳化硅陶瓷材料。迄今为止，该材料从未在类似产品或精度的测量机器上得到使用。与常规陶瓷相比，碳化硅陶瓷的热膨胀性降低约 50%，而刚性则可最大提升 30%，同时减重 20%。与钢材相比，碳化硅陶瓷重量降低 50 倍而仍可获得两倍的刚性。

加强型 VAST gold

XENOS 采用蔡司 VAST gold 测量探头。在研发过程中，蔡司在测量精度和测量重复度方面对该探头进行了优化。XENOS 也采用了新型刚性连接。VAST gold 探头可与最大长度为 800 毫米的测针以及最大重量为 500 克的测针配套使用，包括非对称型测针。

优化的气浮轴承

全新强化处理气浮轴承具有更佳的稳定性及测量精度。

改进的电子设计

ZEISS XENOS 技术特点

ZEISS XENOS 应用案例